EDS 能谱分析

1测试概述

EDS 能谱分析配合 SEM/电子探针，通过检测电子束激发的特征 X 射线，对微区元素进行定性识别和半定量分析，可做点分析、线扫描和面分布，是材料微区成分分析的常规手段。

2测试目的

• 微区元素定性识别。
• 半定量测定元素相对含量。
• 元素面分布和线扫描分析。
• 夹杂物、第二相、镀层成分鉴定。

3适用标准

注：以上为行业常用参考标准，具体执行标准以受托实验室现行有效版本及 CNAS/CMA 认可范围为准。

4测试方法与流程

4.1 样品准备

• 样品表面平整、导电。
• 不导电样品喷碳（减少吸收边）。
• 样品干燥无油污。
• 分析面垂直电子束。

4.2 测试条件与参数

4.3 测试步骤

1. SEM 下定位目标微区。
2. 采集能谱进行定性分析。
3. 选择定量方法进行半定量计算。
4. 必要时做线扫描和面分布。
5. 导出谱图和元素分布。
6. 结合形貌解释结果。

5主要设备与仪器

• SEM/电子探针（配 EDS 探测器）。
• EDS 分析软件。
• 喷碳仪。
• 标样（可选）。

6结果与判定

主要结果参数

• 元素种类及质量%/原子%。
• 元素面分布图。
• 线扫描曲线。

判定依据

EDS 为半定量方法，相对误差 1%–5%，用于微区成分定性和半定量，不单独作为精确成分判定依据，精确成分需化学分析。

7注意事项

• EDS 不能检测 H、He、Li、Be。
• 轻元素定量误差大，需谨慎。
• 样品表面不平整会影响定量。
• 面分布需足够采集时间。