测试项目总览
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FA 失效分析
半导体领域
FA 失效分析
面向半导体器件的失效分析(Failure Analysis):从电性定位到物理剖解,系统定位失效根因。
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本类别测试项目列表
序号
测试项目
操作
1
电性能测试
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2
X-Ray 检测
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3
超声波扫描(SAT)
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4
化学/机械开封
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5
热点定位(Thermal EMMI/OBIRCH)
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6
SEM/EDS 分析
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7
FIB 切割
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8
TEM 分析
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9
ESD/Latch-up 测试
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