涂镀层厚度检测
X 射线荧光测厚（XRF）
无损测量多涂层/多层金属覆盖层厚度与成分
1测试概述
X射线荧光测厚(XRF)用X射线激发样品，测量涂层元素特征荧光强度，与标准箔/校准曲线比较计算各层镀层(如镀金、镀镍、镀铜)及基体的厚度。无损、快速，可测多层多元素，广泛用于电子、电镀件。
2测试目的
- 无损测定金属镀层(金、银、镍、铬、铜等)单层/多层厚度
- 同时测定镀层成分与含量
- 在线/来料快速全检电镀层厚度
- 为贵金属镀层成本控制与质量验收提供数据
3适用标准
GB/T 16921-2005
金属覆盖层 覆盖层厚度测量 X射线光谱方法
ISO 3497:2000
Metallic coatings — Measurement of coating thickness — X-ray spectrometric methods
注：以上为行业常用参考标准，具体执行标准以受托实验室现行有效版本及 CNAS/CMA 认可范围为准。
4测试方法与流程
4.1 样品准备
- 平板或小件待测面清洁、无氧化、无指纹
- 被测面尺寸须大于光斑(一般φ1～5mm)
- 弧度大的曲面需专用校准
- 与镀层成分相同的标准厚度片用于校准
4.2 测试条件与参数
| 参数项 | 要求/范围 | 说明 |
|---|
| 光斑/准直器 | φ1～5 mm | 按镀层大小选择 |
4.3 测试步骤
- 开机预热，用已知厚度标准片校准仪器
- 将试样平稳放置，使被测面正对光斑
- 选择镀层/基体的测量程序
- 自动测量数秒至数十秒，输出各层厚度
- 多点测量取平均，记录
5主要设备与仪器
- X射线荧光测厚仪(台式/便携式)
- 标准厚度片/标准块
- 真空/氦气附件(轻元素)
- 专用夹具
6结果与判定
主要结果参数
- 各层镀层厚度 (μm)
- 镀层元素成分
- 测量点厚度平均值与极差
判定依据
以各层厚度与图纸/技术要求的厚度范围比较；在规定上下限内判合格。贵金属镀层关注下限成本与上限耐磨。
7注意事项
安全提示：X射线设备注意辐射防护，门联锁有效；无关人员勿靠近。
- 曲面、薄边测量误差大，应在平面中心测
- 镀层成分与标准片不一致会系统偏差
- 多层叠镀需选择正确测量程序
- 光斑必须完全落在镀层上
- 轻元素镀层(如Al₂O₃)需真空/氦气