涂镀层厚度检测
台阶仪测量
探针跨越镀层/薄膜台阶，轮廓法测厚
1测试概述
台阶仪(探针式表面轮廓仪)用精密探针沿样品表面扫描，跨越有镀层(或薄膜)与遮蔽无镀层之间的台阶时记录高度差，直接得到膜层厚度，同时可获得表面粗糙度。适合晶圆、薄膜、沉积膜的台阶测厚。
2测试目的
- 测量薄膜、沉积层、光刻台阶的高度/厚度
- 同时获得表面粗糙度与台阶形貌
- 测量局部微小台阶高度
- 作为薄膜工艺监控与校准手段
3适用标准
GB/T 1031-2009
产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值
ISO 5436-1:2000
Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Profile type — Measure stones and measurement specimens
注：以上为行业常用参考标准，具体执行标准以受托实验室现行有效版本及 CNAS/CMA 认可范围为准。
4测试方法与流程
4.1 样品准备
- 样品制备出清晰台阶(遮蔽沉积/部分刻蚀)
- 台阶高度在仪器量程内(数nm～mm)
- 样品平整吸附于平台
- 被测面清洁无尘
4.2 测试条件与参数
| 参数项 | 要求/范围 | 说明 |
|---|
| 扫描长度/力 | 按台阶大小 | 轻接触防划伤 |
4.3 测试步骤
- 开机校准，用标准台阶样块校准高度
- 将样品固定于平台，使台阶垂直于扫描方向
- 设置扫描长度与探针力
- 探针跨越台阶扫描，记录轮廓曲线
- 由台阶两侧水平线差值计算膜厚
5主要设备与仪器
- 探针式轮廓仪(台阶仪)
- 标准台阶样块
- 样品吸附平台
- 数据分析软件
6结果与判定
主要结果参数
- 台阶高度/膜厚 (nm/μm)
- 表面粗糙度 Ra、Rz
- 台阶形貌曲线
判定依据
以膜厚与工艺设计/规格比较；台阶制备质量决定数据有效性。
7注意事项
安全提示：探针纤细易损，下降与扫描避免硬物碰撞。
- 台阶边缘须清晰、陡直，斜台阶会测偏
- 探针力过大划伤软膜
- 样品必须平整吸附，避免翘曲
- 标准样块定期校准
- 扫描方向垂直台阶